Lam Research—半导体五大设备当中最低调的公司
Lam Research — 半导体是五大设备当中最低调的公司。
Lam RESEARCH（柯林研发)由美国香港人David Lam于1984年创立。Lam 可以理解为大陆林姓衍生出来的公司。（林在闽南语即为Lam的意思，Lam源于华人）
Lam业务发展是以蚀刻和成绩为主，以等离子蚀刻为公司特色。
David Lam先前曾在德州仪器和惠普服务研究等离子蚀刻技术。
当时业界正处于2inch的机台到3inch的过渡阶段，各家公司也在全力研究64k的dram，要突破64k的制程需要先进的等离子蚀刻来进行，而半导体业界专注于半导体设备的公司不多，因此为David Lam 创造了极佳的机会。
2022全球十大半导体设备商排名
稳坐全球半导体设备的前十名的赢家，还是如下这几家：应用材料（Applied Materials）、阿斯麦（ASML）、泛林（LAM Research）、东京电子（Tokyo Electron Limited (TEL) ）、科磊半导体（KLA-Tencor）、爱德万（Advantest）、斯科半导体（SCREEN）、泰瑞达（Teradyne）、日立高新（Hitachi High-Tech）、先进太平洋科技（ASM Pacific Technology）等。
初创！David Lam传奇的创业经历
David Lam于于1980年跟母亲贷款创立了Lam research这家公司。
当时美国国会也刚好通过了降低资本税的法条，让美国风险投资产业热络起来，凭着Lam多年在半导体界的销售和管理经验，Lam的等离子蚀刻计量很快就吸引到800，000美元风险投资的融资。
Lam的等离子蚀刻专注于污染控制和可再生环境以及自动化装置，Lam以多晶矽作为主要业务，推出公司第一台产品AutoEtch 480，Lam获得了极大的成功，并于1984年在纳斯达克上市，代号LRCX。
1985年David Lam出售价值2000万美元的股票离开了公司，Lam在david离开后通过专注于技术创新、全球扩张、市场定位和客户服务，在半导体界站稳了步伐，并且也扩大产品开始踏入成绩设备领域。
（Dr.David Lam博士）
合作！加强联合，稳坐霸主地位
自1980年代起，日本半导体技术和市场突飞猛进，日本市场和美国市场几乎各占半导体市场的一半份额，Lam也开始和日本公司合作。
Lam先是从TEL合作，由TEL在日本销售Lam的机台。
在1987年也跟在日本住友金属工业株式会社建立了合作伙伴关系，加强联合研究和销售自己公司产品，Rainbow 4400刻蚀方面的技术和产品。
自1980年代晚期，台湾晶圆代和韩国dram产业开始发展，Lam也进军日本以外的亚洲市场，并在欧洲、美国和日本开设客户支援中心。
在1990年Lam的公司营收达到了1.44亿美元，其中44%来自海外市场。
在90年代美国半导体产业复苏，亚洲台湾韩国半导体产业蓬勃发展，员工增加到1500万人工厂扩大到原先的10倍。
日本Tel公司
勃发！先进技术是发展的第一生产力
Lam在1990年推出integrity CVD系统，可以将多个制造步骤集成到一个过程中，进而减少了生产时间和成本，该产品获得美国研发杂志的最佳奖项，也在1992年推出首款专利变压器耦合等离子（TCP）技术的产品TCP 9400多晶矽蚀刻系统。
这个系统采用了先进的等离子蚀刻技术，有望实现更高的生产效率、晶片品质和晶片均匀性，这些产品让Lam在1993年的销售额增长了55%达到了惊人的2.65亿美元，净利润达1900万美元，公司也坐稳蚀刻设备商霸主，成为四大半导体设备商之一。
Lam在进入亚洲市场后，于1997年发生了亚洲金融风暴，半导体市场又开始萎缩，不过Lam仍尚未放弃，Lam在1997年并购一家从事化学机械平坦化（CMP）清洁的设备商OnTrak Systems Inc并以cmp和蚀刻重新作为主力发展。
（CVD系列产品）
优化！不断尝试做出最优解
自2000年代开始，Lam又再次开始发展沉积设备，推出VECTOR PECVD能够制造介电层薄膜沉积制程，能让介电层薄膜非常平滑且无缺陷，能以较低的成本提供与新系统相同的品质保证与效能。
Lam通过收购Novellus Systems这家以创新薄膜沉积和表面处理生产线为业务的设备商，Lam将拥有更多优势来支援半导体工业的关键技术转换，包括先进逻辑和NAND记忆股的3D架构，以及450毫米（mm）晶圆的微缩技术。
Lam也积极与asml合作，目前先进制程euv是不可或缺的机台，但euv在曝光时，会有些叠对效应造成边缘放置误差等问题。
Lam利用开发微影、蚀刻和沉积的协同最佳化技术去与asml合作硬式罩幕沉积制程，能把随机效应造成的局部放置误差降至最低。
（介电质薄膜产品）
亚洲：Lam最大的客户基地
截至目前，在超过1亿片采用多重曝光技术（multi- patterning）的晶圆中，有95%是以Lam的设备来制作的，Lam的制作营收，海外营收超过90%，2021Q2财报数据显示以中国的35%居首位，台湾则以17%排名第三，亚洲国家就占了总销售的93%，显示出亚洲半导体市场仍为Lam的营收主力。
最后，泛林集团（Lam Research）是一家半导体设备供应商，将支持全球数字化转型。此外，该公司在向股东返还自由现金方面有着良好的记录。在2021年第四季度，他们以回购和股息的形式向股东返还了惊人的94%的自由现金流，这不是你经常从大型半导体公司听到的。
美国高纯石英矿区遭飓风重创，全球半导体供应链将受冲击？
近日，美国东南部的佛罗里达州、弗吉尼亚州、北卡罗来纳州等多个州遭遇了飓风海伦妮（Helene）的袭击，至少造成了162人死亡，据称是过去50年来袭击美国本土的第二致命飓风。
在美国东部时间10月1日的一次简报会议上，白宫国土安全顾问利兹·舍伍德·兰德尔表示，截至当地时间周一下午，多达600人下落不明，其中一些人可能已经死亡。全美仍有超130万名用户断电。
需要指出的是，在海伦妮飓风的袭击下，北卡罗来纳州Spruce Pine（斯普鲁斯派恩）地区出现了超过 2 英尺（约61cm）的降雨，使得该地区遭遇了严重的洪水和破坏，并导致许多居民断电。而Spruce Pine地区也是全球重要的半导体原材料——高纯度石英矿所在地。因此，如果该地区的高纯石英生产中断，可能会影响全球半导体供应链。
△北卡罗来纳州Spruce Pine高纯石英矿区
目前在Spruce Pine地区采高纯石英的有两家公司：Sibelco North America 和 The Quartz Corp。
在飓风来临之前的9月26日，Sibelco和 The Quartz Corp 就停止了在当地的运营。
总部位于比利时的Sibelco公司的一位发言人表示，“飓风海伦妮对北卡罗来纳州产生了重大影响，Spruce Pine地区受到的打击尤其严重。飓风造成了大范围的洪水、停电、通信中断以及该地区关键基础设施的破坏。该地区的许多人，包括我们的员工及其家人，正面临流离失所和严重的破坏。现在确定该公司的高纯度石英生产设施是否受到影响还为时过早，因为它目前的重点是受风暴影响的当地人和家庭。”
△Sibelco公司的石英加工厂
值得注意的是，随着近年来全球半导体晶圆厂产能的持续扩建，也推动了上游半导体硅片供应商产能的扩张，这也导致了对于高纯石英需求的大幅增长。
为应对需求，Sibelco去年曾宣布投资 2 亿美元，将其Spruce Pine地区工厂的高纯度石英产能提高一倍，理由是市场对该产品的需求，其产品以 IOTA 品牌销售，目标是在 2024 年至 2027 年期间再投资 5 亿美元。
总部位于挪威的The Quartz Corp公司则在本周二的一份声明中表示，其正面临与洪水和电线倒塌有关的“多重挑战”。“我们不知道它们何时会重启。”The Quartz Corp在声明中写道。
由于严重的洪水造成当地道路无法通行、通信中断，因此目前很难评估两家石英开采公司 Sibelco 和 The Quartz Corp 的损坏程度。
值得一提的是，2008 年，Spruce Pine的高纯石英精炼厂发生的一场大火也导致高纯度石英的生产及对外供应中断，对于当时的半导体产业造成了一些的影响。此次海伦妮飓风的影响可能会更大。
不过，Sibelco表示，“如果这些操作可以在几周内（甚至一两个月）重新开始，那不会对全球半导体生产造成特别大的破坏。”
因为，半导体硅片厂商通常会有一些高纯石英库存以及半导体硅片成品库存。但是这些库存会可能在数个月内消耗殆尽。如果届时Spruce Pine的高纯石英仍无法恢复供应，则将会直接影响全球半导体供应链。
半导体分析机构Semianalysis的数据显示，目前半导体硅片大厂Sumco的库存水平在250天左右，环球晶圆和Siltronic均约为90天左右。因此，该分析机构认为，如果3个月内Spruce Pine地区的高纯石英供应能够恢复，则将不会对于半导体供应链造成影响。
高纯石英与半导体行业有何关系？
芯片从诞生发展至今经历了不断的迭代升级，唯有一种主要材料没有发生变化，即半导体硅片。
而半导体硅片的制造，就需要用到“石英”作为原料，通过将其中的硅元素加以纯化，制成高纯度的硅晶棒，切片之后制成半导体硅片。
由于半导体硅片对于纯度要求极高，因此其对于原料的纯度要求也是非常的高，通常需要“高纯石英”作为原料，杂质的纯度必须低于10ppm，这意味着其二氧化硅含量应做到99.999%（5N）或99.998%（4N8）以上。此外，高纯石英也被用于精密光学玻璃以及光伏、照明等产业。
而高纯石英材料的价格通常也是中低品味石英材料的10倍以上。
显然，天然砂当中的石英砂虽然可以作为半导体硅片的制造材料，但是却并不是所有的“石英”都能作为半导体硅片的制造材料。
高纯石英砂市场格局
根据现有资料显示，全球高纯石英原料矿床主要分布于美国、挪威、澳大利亚、俄罗斯、毛里塔尼亚、中国、加大等7个国家。除中国外，共有14处矿床，其中，在生产当中矿山有7处，尚未开采生产的7处。其中，美国Spruce Pine矿区的高纯石英原料资源规模最大，超过1000万吨。
美国Spruce Pine矿区也是世界上纯度最高、出货量最大的石英矿，该地区的矿床不仅规模大，而且杂质少（几乎不含镁铁质矿物），矿石质量稳定。目前，主要由Sibelco 和 The Quartz Corp公司开采。许多半导体硅片制造商也坚持使用pruce Pine矿区的高纯石英，因为较少的杂质可以保证晶圆本身的纯度，从而达到理想的电导率。
凭借Spruce Pine矿区，目前美国也是全球最大高纯石英出口国。数据显示，这两家美国高纯石英供应商占了整个亚太地区高纯石英砂市场份额的近80%。
由于高纯石英原料矿床极为稀缺，21世纪初以来世界各国加大找矿勘查和矿石可利用性评价，发现了十多处高纯石英原料矿床，但尚未有对其进行综述性的研究。我国硅质资源丰富，但大部分矿床被作为普通硅石矿，用于普通玻璃、石材、建筑用砂等。国内每年需从他国进口大量高纯石英砂、原料矿石及高端石英制品。
江苏太平洋石英（石英股份）是国内为数不多的高纯石英供应商之一。太平洋石英位于中国最大的石英砂产区连云港，控制着中国最大的高纯石英砂产量。此外，太平洋石英不断通过东京电子的扩散和蚀刻石英材料认证，也通过了Lam research的蚀刻石英认证。由于半导体需求的不断扩大，太平洋石英还计划在2022年完成6000吨/年半导体石英产品的产能扩张。
不过，总体来说，包括我国在内，目前全球半导体硅片制造所使用的高纯石英砂，主要还是依赖于从美国等国进口。因此，此次如果此次美国Spruce Pine矿区的高纯石英供应长时间中断，必然会影响全球半导体产业。
编辑：芯智讯-浪客剑
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