中图半导体 中图科技申请一种高深度微结构图形化半导体衬底及其制备方法专利,制备高深度微结构图形化半导体衬底

小编 2025-03-17 生态系统 23 0

中图科技申请一种高深度微结构图形化半导体衬底及其制备方法专利,制备高深度微结构图形化半导体衬底

金融界 2024 年 8 月 30 日消息,天眼查知识产权信息显示,广东中图半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种高深度微结构图形化半导体衬底及其制备方法“,公开号 CN202410621288.8,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,本发明涉及一种高深度微结构图形化半导体衬底及其制备方法,所述制备方法,包括以下步骤:S100:获取图形化半导体衬底;S200:采用物理气相沉积方法在图形化半导体衬底上进行差异性沉积,以备在图形化半导体衬底表面形成厚度不均的薄膜,S300:对所述薄膜进行刻蚀,使图形化半导体衬底的 C 面漏出,而图形化半导体衬底的凸起仍有薄膜覆盖;S400:步骤 S300 处理后得到的图形化半导体衬底进行选择性刻蚀,所述选择性刻蚀被配置为只能够对半导体衬底进行刻蚀而无法刻蚀薄膜,以备将半导体衬底上的图形刻蚀至所需高度和形状;S500:去除半导体衬底上的薄膜,获得高深度微结构图形化半导体衬底。

本文源自金融界

中图半导体:用贴近市场的科研实现突围

半导体作为国家新兴产业,对经济社会的长远发展具有带动作用。SEMI(国际半导体产业协会)今年发布的年中预测报告显示,2018年韩国将保持最大的设备市场地位,中国排名将首次上升到第二位。而到了2019年,中国的设备销售将增长46.6%,达到173亿美元,跻身榜首。

在半导体细分领域中,值得一提的是LED领域,我国迅猛的发展势头。LED以及可见光通信产业,上游的衬底材料直接决定着中下游的外延芯片、封装等结构和技术。而伴随着市场化竞争和发展,国内LED外延芯片企业的平均技术水平近些年长足发展,已经达到国际先进水平。

而位于东莞松山湖园区的中图半导体科技有限公司是一家从事半导体衬底材料研发、生产和销售的高新技术企业。中图半导体科技有限公司成立于2013年12月,只用了不到五年时间,中图就成为了全球规模最大的PSS制造商,月出货量占全球使用量的三分之一左右。

中图公司主要从事蓝宝石晶体的材料加工、应用研究及设备开发等,主营产品是GaN基LED基板的2-6英寸微米级图形化蓝宝石衬底(PSS)。目前企业产能为2英寸PSS衬底30万片/月、4英寸PSS衬底90万片/月(折算2英寸390万片)。

市场认可为王

回顾起在全球LED市场上占据一席之地的成绩。中图半导体总经理康凯对21世纪经济报道记者表示中图的发展可以简单概括为三点,首先基于对整个产业链产品进行科学发展;其次始终坚持以客户的价值实现为中心;再者就是抓住了发展LED行业的最佳时机。

康凯向记者说道:“为什么我们的产品在韩国市场卖得比韩国自主生产的卖得贵,因为我们能给客户带来更高的价值。满足客户适应市场需求,而不是脱离产业本身的僵化科研才能促进行业的发展。评价技术最好的方式就是客户肯花大的价钱买你的产品。”

半导体照明行业从2012年到现在实现了近十倍的扩张,而中图则抓住了这个机会,将竞争对手无法覆盖的产品进行布局,从而在竞争中取得优势。

中图公司围绕衬底材料技术的开发进行了重点研发,开发制备大尺寸PSS技术,实现新的材料加工技术的突破,有效地提高了PSS制程的稳定性,提高产品均匀性,提高生产良率及生产效率,降低投资成本。

产、学、研结合

此外中图建立有大型研发中心,并被认定为广东省半导体衬底工程技术研究中心,是广东省创新型试点企业,与国内外多家科研院校建立紧密的合作,包括北京大学、中山大学、欧盟国际纳米技术联合实验室等。

康凯对记者说道:“我也有许多投身于半导体科研的同学。但对于企业来说产、学、研的结合显得更为重要,将科研与市场需求更加有效地结合成为中图突围的关键。给予人才更好的工作环境和工作条件,让员工能有信心买的起房买得起车,提高单个员工工作的效能成为中图稳步发展的秘诀。”

未来,中图公司将进一步开发6英寸PSS、 纳米级PSS以及新型周期结构的产品,并将利用微纳米级的高精密表面处理技术开拓其他新产品、新应用。并持续以蓝宝石衬底材料为主业,积极开拓蓝宝石材料新的应用,通过横向及纵向的产业资源整合,打造具有特色的蓝宝石材料产业基地。

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