世界地球日报喜鸟坚持“绿色制造”打造“绿色工厂”
来源：环球网
编者按
今年4月22日是第55个世界地球日，活动主题为“珍爱地球，人与自然和谐共生”。
气候变化是当前全球面临的重大挑战之一。世界地球日不仅是提升公众环保意识的重要契机，也是推动绿色发展理念深入人心的关键节点。企业作为社会经济活动的主要参与者，其在推动碳达峰碳中和、构建人与自然和谐共生的地球家园进程中扮演着不可或缺的角色。
环球网推出“世界地球日”专题报道，展示企业在绿色低碳发展中的积极探索和实践，鼓励企业积极参与地球保护、人与自然和谐共生的事业中来。让我们携手，共同为保护地球环境、推动绿色低碳发展贡献力量。
报喜鸟控股股份有限公司（简称“报喜鸟” ）成立于2001年，主营业务为品牌服装的研发、生产和销售，在国内中高端品牌男装市场保持领先地位。该公司始终将绿色可持续发展、履行环保义务作为企业可持续发展的目标，充分发挥绿色工厂的标杆示范作用，积极带动行业加快绿色制造体系建设。
公司作为国家级绿色工厂，以环境影响评价作为环境风险预防和环境影响可行性论证的重要依据，采取有效措施，每年公司对绿色工厂的持续良好运营进行监督，以保持公司生产及各业务的绿色发展和健康发展。
报喜鸟2023年度社会责任报告显示，该公司实行“绿色制造”，在达标排放的基础上，抓源头控制，杜绝或减少废气的排放量，做好雨污分流工作，将生活污水和工业废水统一接入城镇污水处理站；公司委托专业检测机构为公司废水、噪音、废弃进行检测，检测结果均达标。日常加大对工厂环保设施运行维护监察力度，进一步优化危险物品规范管理；对厂区环境日常巡检与改善，实现环保常态化管理，报告期内未发生环境污染等事故。公司实行“绿色仓储”，重复利用塑料周转箱取代纸箱周转，结合智能化设备，实现相同订单合并包装、组批发货，减少纸箱用量。公司园区内以本地物种为主，建立生态型园区，认真做好绿化建设和管理，确保公司环境清洁化、美化；公司严格执行垃圾分类工作，做好废物的资源化再利用、减量化和无害化，做好环境保护。报告期内公司温州总部工厂被温州市委宣传部、市经信局评为“温州市最美工厂”。
报喜鸟坚持创造绿色发展、低碳发展、可持续发展，同时不断提高员工的节能环保意识，鼓励员工献计献策，在公司范围内不断推行“节能、节水”的宣贯；引进太阳能、空气能等新一代的绿色高效能源，采用国家绿色节能绿色环保型的半导体光源LED节能灯。对生产区进行综合能耗管理，对各工序能耗数据进行采集、分析，从而针对各环节情况进行降耗工艺改造，践行“节能环保”的理念和行动，让节能、环保深入人心。
报喜鸟把“珍爱环境，节约资源”融入公司发展中，积极投身于阿拉善“锁边生态·种树植心”公益事业当中，持续十年认种公益植树林共计1000亩，在沙漠中播种绿色希望，为生态文明建设贡献力量。
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佳能发售面向小尺寸基板的半导体曝光设备“FPA-3030i6”
来源：科技翘楚
采用新开发镜头、拥有多项option，适应市场潮流扩大的功率器件领域
【小熊在线讯】佳能※1于2024年9月24日发布新型半导体曝光设备FPA-3030i6，这是一款配备新开发投影镜头的i-line※2步进机，旨在提高客户生产力。
FPA-3030i6
新产品FPA-3030i6是面向8英寸（200mm）以下小尺寸基板的半导体曝光设备。该设备通过采用新开发的高透过率和高耐久性投影镜头，既能抑制高照度曝光下产生的像差，又能缩短曝光时间，从而提高生产力。此外，代表镜头分辨率的NA（数值孔径）范围扩大、对应特殊基板的搬送系统等，有多项option（有偿）可供选择，从而满足多种半导体器件（如功率器件和绿能器件）的制造需求。
采用高透过率和高耐久性的新开发投影镜头，实现抑制像差、生产力提高
采用高透过率镜头玻璃材料，与现款机型※3相比，曝光引起的镜头像差可以减少到1/2※4以下。因此，即使在高强度曝光下，也能保持图像高对比度、同时缩短曝光时间。此外，镜头具备高耐久性，可抑制因设备长时间使用而导致的镜片透过率下降以及由此导致的生产率下降。镜片透过率的提高可缩短各个流程所需的工作时间，从而实现生产力提高，可处理的基板数量也从前一款机型的每小时123片增加到每小时130片※5。
拥有多项option，可对应的半导体器件种类扩大
不仅能对应Si（硅），还可对应SiC（碳化硅）和GaN（氮化镓）等化合物半导体晶圆，NA的调节范围也从现款机型的0.45～0.63扩大到0.30～0.63，通过选择更小的NA option，从而为不同器件制造适配最合适的NA，可对应的半导体器件种类随之进一步扩大。此外，对于从直径2英寸（50mm）～到8英寸（200mm）的不同基板尺寸、Si、SiC和GaN 乃至GaAs（砷化镓）和蓝宝石等多种材料、基板厚度和翘曲量的对应，可通过有多种选择Option（有偿）的灵活对应的搬送系统来实现，以满足制造多种半导体器件（如功率器件和绿色器件）的用户需求。
※1. 为方便读者理解，本文中佳能可指代：佳能（中国）有限公司，佳能股份有限公司，佳能品牌等。
※2. 利用i-line（汞灯波长365nm）光源的半导体曝光设备。1nm相当于10亿分之一米。
※3.「FPA-3030i5a」（2021年3月发售）
※4. 适用于佳能标准曝光条件
※5. 生产8英寸（200mm）晶圆时
〈主要特长〉
1）采用高透过率和高耐久性的新开发投影镜头，实现抑制像差、生产力提高
·采用高透过率镜头玻璃材料，由曝光热产生的像差可减少到现款机型的1/2以下。
·即使在高照度曝光条件下，也能保持图像高对比度，缩短曝光时间，从而提高生产力。
·采用高耐久性镜头玻璃材料，可抑制因设备长时间使用而导致的镜片透过率下降以及由此导致的生产率下降。
·通过减少搬送和曝光处理所需的时间，实现生产力提高，可处理的基板数量也从现款机型的每小时123片增加到每小时130片。
各种材料化合物基板（示意图）
2）拥有多项option，可对应的半导体器件种类扩大
·通过选择option（有偿），NA范围从现款机型的0.45～0.63进一步扩大到0.30～0.63。选择更小NA的option，从而为不同器件制造选择合适的NA，可对应的半导体器件种类进一步扩大。不仅是Si，SiC和GaN等化合物半导体晶圆也可对应，让功率器件和绿能器件等多种半导体器件的制造成为可能。
减小NA扩大DOF，可根据器件种类选择合适的NA（示意图）
·直径2英寸（50mm）～8英寸（200mm）的不同基板尺寸、除Si、SiC和GaN 之外的GaAs和蓝宝石等各种材料、以及灵活对应基板厚度和翘曲量的搬送系统，这些都可以通过option（有偿）进行选择，以满足制造多种半导体器件（如功率器件和绿能器件）的用户需求。
3）镜头玻璃材料统一化，可实现设备的稳定供应
·通过将镜头玻璃材料与其他佳能i-line设备的镜头玻璃材料统一，实现生产面的效率提升。
·减少投影镜片数量，设备制造的交付时间得到短缩。
〈半导体曝光设备市场动向〉
随着物联网的快速发展，功率器件和通信器件等各种物联网相关器件的需求不断增加，适应各个器件的晶圆材料种类和尺寸也在增加。对能对应特殊基板和小型基板（包含硅在内的SiC和GaN等材料的化合物半导体晶圆及小型晶圆等）的半导体曝光设备的需求逐渐提高，此外，对减少CO₂ 排放和减少环境影响的绿能器件的需求也在扩大。（据佳能调查）
〈产品规格〉
有关产品规格的详细信息，请参阅佳能官网。
〈佳能半导体曝光设备的Line-up〉
佳能半导体曝光设备的line-up
佳能半导体曝光设备品类众多，此次发售的FPA-3030i6是半导体曝光设备的i-line步进机之一（如蓝色箭头所示），该设备能够制造多种半导体器件，主要对应8英寸以下的小型基板，即2英寸（50mm）～8英寸（200mm）晶圆尺寸。
〈半导体曝光设备的原理〉
半导体曝光设备的工作原理是通过投影透镜，将掩模版上绘制的电路图案进行缩小，并将其曝光在晶圆上。半导体曝光设备有三个相关单元：掩模工作台、由多个镜片组成的投影光学系统和晶圆载物台。
将带有电子电路图的掩模板（母版）放置在掩模工作台上、半导体基板放置在晶圆载物台上，从上方用UV光（紫外线）照射，穿过掩模板的紫外线会透过投影光学系统，在半导体基板上形成掩模板上的电子电路图的图像。被叫做晶圆的半导体基板上涂有光刻胶（光刻胶在紫外线照射下会改变其特性），在掩模板上绘制的电子电路图案会被转印到光照到的地方。
半导体曝光设备原理图
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佳能集团介绍
佳能自1937年开始创业。秉承“共生”的企业理念，佳能以创造世界一流产品为奋斗目标，不断向多元化和全球化发展。目前，佳能的事业以光学技术为核心，涵盖了印刷、影像、医疗、工业及其他前沿事业等广泛领域。位于东京的集团总部与美洲、欧洲、亚洲、大洋洲以及日本的各区域总部紧密联系，构筑了全球化与本土化有机结合的经营体制。1996年，佳能启动了旨在实现以技术服务社会，成为全球范围内被信赖、受尊敬的企业为目标的“全球优良企业集团构想”。（数据截止至2024年3月）
佳能（中国）有限公司介绍
佳能的中国事业始于上个世纪70年代。从最初的技术合作到独资建厂再到成立销售公司，经历了多种经营模式的探索。从1989年在大连投资首家生产工厂伊始，经过多年努力，佳能在中国大陆地区关联公司已覆盖生产、研发与销售各领域。1997年3月，佳能（中国）有限公司成立，全面负责佳能在中国市场销售的各项工作。截至目前，佳能（中国）已基本建成包括华北、华东、华南三大区域总部在内的13个分支机构以及展厅、快修中心、快捷服务站等，形成了覆盖全国的销售和服务网络。业务范围涉及影像系统产品、办公产品、产业设备以及智能IT解决方案等多个领域，并在不断拓展符合中国消费者需求的新业务。佳能（中国）深深植根于中国市场，致力于成为一家被中国人民所信赖、尊敬的企业。（数据截止至2024年3月）
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