广州，刚刚崛起一个超级独角兽：粤芯半导体
广州跑出了一个罕见的超级独角兽。
投资界获悉，粤芯半导体本周宣布完成数亿元B轮战略融资，跻身半导体超级独角兽行列。本轮融资由广州产业投资控股集团下属广州科创产业投资基金和广东粤财控股下属广东省半导体及集成电路产业投资基金联合领投，同时获得中国农业银行下属农银投资和中国建设银行下属建信投资等既有和新战略投资股东追加投资。
这是广州半导体界一颗明珠——2017年，粤芯半导体在广州成立，随即火速实现量产，成为粤港澳大湾区唯一一家专注于模拟芯片领域和进入全面量产的12英寸芯片制造企业。短短几年时间，公司身后聚集了一个超豪华的投资人阵容，既有长长的市场化投资机构，也有广州当地产业基金撑腰，更是不乏汽车、工业领域赫赫有名的产业资本，投资机构数量之多，场面之壮观，令人惊叹。
可以说，粤芯半导体将广州乃至大湾区的造芯热情推向了高潮。在外界的印象里，珠三角半导体落后于长三角，
崛起于广州本土的超级独角兽
国资簇拥，VC/PE云集
这一个超级半导体独角兽有何来头？
时间回到2017年，粤芯半导体 在广州黄埔区的中新广州知识城正式成立，这是广东省全力打造的本土集成电路企业。一直以来，广州缺乏大型芯片制造项目，已经成为制约当地发展芯片关联产业发展的瓶颈。“粤芯半导体被广州寄予了厚望。”一位半导体投资人回忆。
粤芯半导体很快用实力证明了自己——2018年3月打桩、10月主厂房封顶、2019年3月设备搬入，6月生产设备调试完毕开始投片，9月两个工艺平台开发完毕、通过可靠性验证，并开始爬坡“量产”……仅仅用了18个月，粤芯半导体便完成了这套流程，实现从无到有到量产的突破。数据显示，粤芯半导体一期项目于2020年12月实现满产运营，产品良率达到97%以上。
这一成就也彻底改写广州缺“芯”的前史。“粤芯半导体投产启动标志着广州可生产在地芯片，填补了之前广东、广州芯片生产空白，是‘广州第一芯’。之后我们可以直接服务粤港澳大湾区客户群。”粤芯半导体副总裁李海明曾向《广州日报》如此评价。
由此，粤芯半导体从消费级芯片起步，延伸发展至工业级和车规级芯片，成为了粤港澳大湾区唯一一家专注于模拟芯片领域和进入全面量产的12英寸芯片制造企业。
一路走来，粤芯半导体在VC/PE圈备受关注。2021年7月 ，粤芯半导体完成新一轮融资，本次融资由国内深具集成电路行业投资经验或上下游产融紧密协同的广东半导体及集成电路产业投资基金、国投创业、兰璞创投、华登国际、吉富创投、广汽资本、惠友投资及农银投资等机构联合组成。
不到一年时间，粤芯半导体又完成了45亿元融资 ，投资方阵容豪华——粤财控股管理的广东省半导体及集成电路产业投资基金、广汽集团旗下广汽资本、上汽、北汽等车企旗下产业资本，以及越秀产业基金、盈科资本、招银国际、盛誉工控基金等战略投资股东。同时，粤芯半导体还获得包括华登国际、广发证券、科学城集团、兰璞创投等多家既有股东在本轮融资中持续追加投资，既有股东认购本轮融资金额超过60%。
对于此轮押注，粤财控股旗下的政府投资基金管理人粤财基金董事长林绮坦言：“粤芯半导体是广东省打造我国集成电路第三极的重要承载主体，近年来取得了令人瞩目的发展成果。我们将充分发挥省级金控平台的综合优势，持续支持粤芯半导体做大做强，补齐广东省晶圆制造业短板，带动大湾区集成电路产业链上下游协同发展。”
其中，广汽集团与粤芯半导体互为投资方。广汽集团先是连续两轮押注粤芯半导体，而粤芯半导体随后参与了广汽集团旗下广汽埃安的183亿元A轮融资。不止如此，广汽埃安和粤芯半导体成立了一个30多人的联合工作组，一同研究哪些芯片可以做国产替代，而广汽研究院也和粤芯半导体成立工作组，探究未来3—5年的汽车需要什么样的芯片，哪些芯片可以一起慢慢孵化。
作为芯片领域的投资老将，华登国际一直在半导体产业进行全产业链布局。华登国际董事总经理黄庆博士曾表示，粤芯半导体是国内半导体制造行业的后起之秀，发展势头强劲。
今年9月，粤芯半导体成功入选《2022年中全球独角兽榜》，成为集成电路行业的超级独角兽，估值早已超百亿。
如今，粤芯半导体最新一轮融资出炉——广州产业投资控股集团下属广州科创产业投资基金、广东粤财控股下属广东省半导体及集成电路产业投资基金、中国农业银行下属农银投资和中国建设银行下属建信投资等知名投资机构。据悉，本次融资所获资金将全部用于粤芯半导体三期项目的投资建设，前一次融资亦用于该新项目。
至此，这只芯片独角兽正在席卷创投圈，更是凭一己之力盘活了广州的半导体产业江湖。
VC/PE组团去广州
以粤芯半导体为起点，广州的集成电路产业建设如火如荼。
实际上，在粤芯半导体落户广州后，数十家集成电路企业曾慕名前往广州中新知识城考察，计划在此落地。数据显示，中新知识城已吸引数十家半导体企业落户，涵盖芯片设计、封装测试、终端应用等领域，其中更是不乏营业额过亿的企业。
除了优质项目，广州充分发挥了母基金的杠杆效应。由此，嗅觉敏锐的半导体投资人纷纷赶来广州。
令人印象深刻的是，2021年11月，广东半导体及集成电路产业投资基金正式设立。首期形成200亿元规模，二期规模扩大到500亿元规模。据悉，该母基金首期成立设计、生态、风险三类子基金，分别由上海武岳峰基金、中芯聚源和华登国际 三家业内知名半导体创投机构管理。
到了2022，广州设立母基金更加凶猛，建设半导体产业的势头只增不减。这里我们截取了几个片段——
今年1月，广州产投集团党委书记、董事长高东旺带队赴上海主动开展产业招商，与半导体头部投资机构华登国际、兴橙资本达成战略合作，并与中微公司、中芯聚源、武岳峰科创就半导体产业导入广州事宜展开深入交流，期待与头部机构深度合作，布局广州半导体产业。
7月，广州最大的政府引导基金广州市新兴产业发展基金官宣旗下子基金招GP，共涉及12个产业，单笔出资不超过2亿元。新兴基金成立于2017年，旗下子基金多达100支，子基金总规模超800亿元，在新一代信息技术领域、新材料与高端装备制造领域、生物医药与大健康领域均有投资布局，目前已经成为广州市推动产业转型升级的重要帮手。
8月，广州产投集团与智路资本、广州开发区国企代表签订协议，共同设立500亿元广州前沿科技产业基金，围绕以半导体及集成电路为核心的前沿科技产业，投资具有战略性、引领性、前瞻性的大中型项目。双方积极将国内半导体龙头企业紫光集团及其上下游生态圈企业导入广州，推动广州市集成电路产业等前沿科技快速发展，助力广东打造中国集成电路产业发展第三极。
此外，广州产投集团还官宣了一个大手笔动作——正在设立1500亿产业母基金和500亿创投母基金 。这两项母基金旨在为科创企业提供“雨林式”服务，通过金融支持、产业发展深度融合，赋能中小企业一路成长。此次签约是广州产投集团牵头组建的1500亿元广州产业母基金和500亿元广州创投母基金启动前奏。
这还不包括，广州今年陆续创立了聚焦投资早期专精特新企业的广州科技创新母基金、围绕乡村振兴产业链进行投资的广州乡村振兴基金、重点投资于新兴产业领域的新兴产业发展引导基金等多家产业母基金。
而在创投圈引发轰动的是，广州产投集团就1500亿元广州产业母基金和500亿元广州创投母基金举办多场管理办法暨产业招商研讨会。参与产业招商研讨会投资机构阵容十分盛大——
国内外头部投资机构方面，中金资本、高瓴、招商局资本、国新基金、深创投等受邀参加；参会的兄弟城市母基金管理机构，则有杭州资本、上海科创集团、深圳天使母基金、苏州元禾等。同时，会上还看到本地知名创投机构如广发信德、创钰投资、越秀产业基金、乡村振兴基金、科金控股等，以及产业龙头企业的投资机构如广汽资本、平云资本、工控资本等代表的身影。
广州金控基金 同样来势汹汹。资料显示，广州金控基金是广州金融控股集团有限公司旗下子公司，受托管理了两只广州市市级政府引导基金，分别为广州市科技局50亿元的科创母基金，以及广州市国资委25亿元的国企创新基金。
其中，科创母基金已完成6批次子基金的遴选工作，累计筛选公示拟合作机构81家，已与包括深创投、松禾资本、险峰长青、达泰资本、广发信德、丹麓资本等知名机构在内的22家合作机构完成子基金组建落地工作；国企创新基金则累计完成8支子基金组建。
一时间，全国各地的VC/PE都跑到了广州——截至目前，广州金控基金吸引了IDG、深创投、中金资本、光大控股、鼎晖投资、招银国际、软银中国、武岳峰、经纬中国、顺为资本、元禾原点、松禾资本、平安创投、钟鼎资本、明势资本、中科创星等优秀创投机构参与申报。
在很长一段时间里，广州的创投力量并不算活跃，VC/PE大多聚集在隔壁的深圳。如今随着母基金纷纷落地，VC/PE重新涌向广州的一幕正在上演。
半导体落后于长三角
大湾区拼了
“珠三角为何在半导体上落后于长三角？”这一问曾经深深刺痛珠三角产业界。
因此在梳理繁花般的广州母基金的时候，我们发现羊城对“集成电路” 尤为钟情。从投资方向到挑选的GP大多与集成电路有着密切的关系。譬如粤芯半导体的股东——广州产投集团曾陆续与华登国际、智路资本、兴橙资本、武岳峰等半导体头部投资机构合作设立基金，今年以来已累计投资超50亿元为广州引芯强芯。
广州为何如此重视集成电路？深思一层，背后逻辑不难理解——广州虽然是国内数一数二的制造业城市，辖区内有50多个产业集聚区，但却在半导体产业链存在着技术短板。当长三角在半导体高歌猛进时，以广州、深圳为代表的珠三角却几乎在半导体产业上隐身。
广州的芯片之缺，也是整个大湾区的隐痛。用一位资深投资人的话来说，珠三角集成电路产业发展不平衡，设计产业很大，芯片制造产业底子薄、全面布局晚，芯片研发、高端科技支撑不足，芯片人才供给体系不完善，总体竞争力受到影响。
这一点，不少本地投资人感受深刻。以往在他们的接触中，不少初创公司可能拿着来自珠三角的投资，却倾向于在长三角落户。
华南一家早期投资机构合伙人分享了他的亲身经历——去年，该合伙人十分看重的一个光芯片相关的初创公司，在完成天使轮投资之后选择落在了长三角。“我们投的芯片公司常常被长三角‘挖走’ ，或是因为政策、或是考虑封装便利，各种原因也让我们很无奈。”
对此，粤澳半导体产业基金、执行事务合伙人李进先曾分析，广东集成电路制造领域发展薄弱，是因为其过度市场化和开放，集成电路产业在制造端相对周期更长、投入量更大。因此，广东需要在制造端和封装端做资金和资源都比较重度的投资，同时还要找一些项目导入到大湾区。从整个产业链角度来看，新增晶圆厂和封装厂的项目是未来大湾区发展集成电路产业的重心。
发力虽晚，但珠三角发展集成电路的决心已定。这其中，身为省会的广州一马当先，从全身心地扶持粤芯半导体到各处招揽专投芯片的投资机构，逐一攻克自身短板。
今年6月，广州南沙发布了《广州南沙新区（自贸片区）促进半导体与集成电路产业发展扶持办法》，从重大项目落户、企业融资、完善集成电路产业链、补贴企业生产型用电等九个方面进行扶持。比如，对新引进的集成电路制造类企业给予总投入10%、最高3亿元落户支持。
目前，广州黄埔区、广州开发区成为了全省打造具有全球竞争力的集成电路产业创新高地的核心承载区，拥有华南地区最大的集成电路产业基地。数据显示，该地区拥有大湾区最完整的集成电路产业链，集聚集成电路上下游企业超120家、占广州90%以上，初步奠定了由芯片设计、晶圆制造、芯片封装和集成电路测试四个主要环节及支撑配套产业构成的产业链格局。
放眼整个大湾区 ，大力建设集成电路产业已成为共识。不久前，深圳发布了《深圳市培育发展半导体与集成电路产业集群行动计划（2022-2025 年）》，提出到2025年，制造、封测等关键环节达到国内领先水平；产业营收突破2500亿元，形成3家以上营收超过100亿元和一批营收超过10亿元的设计企业，引进和培育3家营收超20亿元的制造企业。
有着巨大应用市场空间的制造之都佛山 也不甘落后。根据佛山发布的《佛山市半导体及集成电路产业集群发展行动方案（2022-2025年）》，提出力争到2025年，半导体及集成电路产业营业收入超过100亿元。
还有东莞 ，《东莞市发展半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划（2022-2025年）》提出，到2025年，东莞市集成电路产业营业收入超800亿元，力争达到1000亿元，建成华南地区高端封装测试重要基地、第三代半导体材料及应用创新重要基地。
而珠海 ，虽然依靠MP3、MP4、智能手表、蓝牙耳机、智能音箱等消费类芯片混得风生水起，也在奋力补足自身制造、封测方面的缺陷。《珠海市大力支持集成电路产业发展的意见》提出，“到2025年，珠海集成电路产业集群规模达到1000亿元”。
看到这一幕，不少投资人十分感慨：为了集成电路，大湾区真的拼了 。“广东历来是一个很务实的地区，也是国内市场化程度最高的区域之一。既然政府下了决心，无论是政策、方式方法，以及产业发展模式等方面，都会不断做优化。”一位关注芯片产业的投资老兵曾如是说道。
路漫漫其修远矣，中国半导体崛起是一场漫长的征程。过去一度缺席的珠三角，正在全力追赶。“赶超京沪，全国第一。”最近接触了广深多家引导基金后，一位来自北京的投资人感叹，这片土地正在渐渐重拾昔日制造业的荣光。
粤芯半导体申请沉积硅富氧化物薄膜专利，有效减少缺陷产生
金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，粤芯半导体技术股份有限公司申请一项名为“一种沉积硅富氧化物薄膜的方法及硅富氧化物薄膜”的专利，公开号CN 118703970 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种沉积硅富氧化物薄膜的方法及硅富氧化物薄膜，包括：将一晶圆置于反应腔内；设定反应腔压力，并在反应腔通入氦气；通过第一管道向旁路结构通入旁路气体；通过第二管道向述反应腔通入反应气体，并降低反应气体中硅烷的流量；在晶圆表面沉积形成硅富氧化物薄膜。本发明通过降低反应气体中硅烷的流量，能够控制薄膜中硅的含量以及薄膜的组成和特性，通过降低硅烷的流量，能够精确控制化学反应的速率和程度，从而能够有效减少反应过快或不均匀导致的缺陷，而且由于硅烷中可能存在杂质，这些杂质在沉积过程中可能会形成缺陷本发明通过降低硅烷的流量，有助于减少这些杂质沉积，从而降低缺陷的产生。
本文源自金融界
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