华虹半导体（无锡）申请光刻胶滴胶量的监控方法专利，实现胶量的真实输出监控
金融界 2024 年 9 月 10 日消息，天眼查知识产权信息显示，华虹半导体（无锡）有限公司申请一项名为“光刻胶滴胶量的监控方法“，公开号 CN202410676417.3，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种光刻胶滴胶量的监控方法，包括：预设一胶量阈值和完整喷涂胶量；对晶圆进行一次光刻胶喷涂处理，其中，光刻胶存在一定流量的回流；获取本次喷涂过程中流经光刻胶管路的稳定流量；将稳定流量的数值与胶量阈值进行比较；若稳定流量的数值小于胶量阈值，则将干预输出胶量记为 0；若稳定流量的数值大于胶量阈值，则将干预输出胶量记为完整喷涂胶量；将干预输出胶量反馈给机台。本申请引入胶量阈值，对流量计检测的稳定流量进行干预，获取更准确的干预输出胶量，避免了由于光刻胶回流造成的检测存在偏差的情况，实现胶量的真实输出监控，避免了光刻胶浪费。
本文源自金融界
华虹半导体(01347)上涨1071%，报310元股
10月7日，华虹半导体(01347)盘中上涨10.71%，截至09:33，报31.0元/股，成交2.44亿元。
华虹半导体有限公司是全球领先的特色工艺纯晶圆代工企业，专注于嵌入式/独立式非易失性存储器、功率器件、模拟与电源管理和逻辑与射频等“8英寸+12英寸”特色工艺技术的持续创新。公司在上海金桥和张江拥有三座8英寸晶圆厂和一座无锡的12英寸晶圆厂，月产能分别约18万片和7.5万片，提供多种1.0微米至65/55纳米技术节点的可定制工艺选择，其产品广泛应用于新能源汽车、绿色能源、物联网等新兴领域。
截至2024年中报，华虹半导体营业总收入66.89亿元、净利润2.74亿元。
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