半导体研磨设备 帝科股份申请一种半导体材料研磨系统专利,提高研磨效率,缩短加工周期

小编 2024-11-23 设计资源 23 0

帝科股份申请一种半导体材料研磨系统专利,提高研磨效率,缩短加工周期

金融界 2024 年 8 月 14 日消息,天眼查知识产权信息显示,无锡帝科电子材料股份有限公司申请一项名为“一种半导体材料研磨系统“,公开号 CN202410798414.7,申请日期为 2024 年 6 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种半导体材料研磨系统,包括研磨盘、研磨液供应装置、半导体材料夹持装置和控制系统;所述研磨盘用于与半导体材料表面接触进行研磨加工;所述研磨液供应装置用于供应研磨液,并在研磨过程中喷洒在半导体材料表面,避免因摩擦而引起的过热;所述半导体材料夹持装置用于固定半导体材料;所述控制系统分别与研磨盘、研磨液供应装置、半导体材料夹持装置通讯连接;本发明的有益效果是:通过优化研磨盘的转速、研磨液的供应量和半导体材料的移动速度,提高了研磨效率,缩短了加工周期;利用润滑油和冷却水的混合研磨液,有效降低了因摩擦而引起的过热现象,保证了研磨过程的稳定性和半导体材料的表面质量。

本文源自金融界

迈为股份:研磨设备可用于第三代半导体如碳化硅,产品线包括刀轮切割、激光表面切割设备等

金融界1月23日消息,有投资者在互动平台向迈为股份提问:贵司提供华天科技的晶圆研抛一体设备及12英寸半导体晶圆研磨设备,是否适用于第三代半导体?

公司回答表示:公司研磨设备可用于第三代半导体如碳化硅(SiC)。公司在碳化硅领域积极布局,除了碳化硅研磨设备,目前公司在碳化硅领域的产品还有碳化硅刀轮切割、碳化硅激光表面切割设备、碳化硅激光隐切设备等,上述设备正在客户处验证。

本文源自金融界AI电报

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