真空半导体 深圳市茂泰电子取得半导体芯片制造真空设备专利,使滑块能在移动中将半导体材料均匀放置在设备内部

小编 2024-10-10 生态系统 23 0

深圳市茂泰电子取得半导体芯片制造真空设备专利,使滑块能在移动中将半导体材料均匀放置在设备内部

金融界2024年9月27日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市茂泰电子有限公司取得一项名为“一种半导体芯片制造真空设备”的专利,授权公告号 CN 221766705 U,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种半导体芯片制造真空设备,其中,包括:真空制作设备本体,所述真空制作设备本体内壁开设有凹槽,所述凹槽内壁安装有两个滑杆,两个所述滑杆外部均滑动连接有滑块,两个所述滑块侧边均固定连接有连接杆,两个所述连接杆一端均固定连接有横杆,两个所述横杆内部均安装有弹簧,两个所述弹簧一端均固定连接有限位板,两个所述限位板侧边均固定连接有定位杆,所述真空制作设备本体内壁开设有多个滑槽,所述真空制作设备本体中部安装有置物板。通过上述结构,利用定位杆与定位孔进行配合,使滑块在移动的过程中将半导体材料均匀放置在真空制作设备本体的内部。

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无锡邑文微电子申请种半导体真空系统气体控制用质量流量器专利,能够保障质量流量器的使用效果

金融界2024年9月26日消息,国家知识产权局信息显示,无锡邑文微电子科技股份有限公司申请一项名为“种半导体真空系统气体控制用质量流量器”的专利,公开号CN 118687643 A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本发明公开了一种半导体真空系统气体控制用质量流量器,涉及质量流量器技术领域,包括气体控制机构,气体控制机构包括质量流量器,质量流量器的正面固定连通有进气管,质量流量器的背面分别固定连通有接线管和出气管,此一种半导体真空系统气体控制用质量流量器,通过设置过滤单元能够将气体进行过滤,同时能够自动更换过滤装置,可提高气体的过滤效果,并可以无需人工频繁干预更换过滤装置,同时避免了人工在危险的真空环境中进行过滤装置更换操作,降低了操作人员暴露于潜在危险中的风险,并能够始终保持良好的过滤效果,避免了因过滤装置老化或堵塞导致的气体杂质残留,从而可减少杂质堵塞质量流量器,保障质量流量器的使用效果。

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